在半導(dǎo)體制作等高溫工藝場(chǎng)景中，碳化硅石墨盤(pán)在耐高溫性、熱導(dǎo)率、耐腐蝕性、運(yùn)用壽數(shù)等方面更具優(yōu)勢(shì)，更適合運(yùn)用；若對(duì)本錢(qián)靈敏且工藝要求不高，一般石墨盤(pán)是更經(jīng)濟(jì)的挑選。以下為具體分析：
一般石墨盤(pán)
優(yōu)勢(shì)
      本錢(qián)較低：石墨材料相對(duì)常見(jiàn)，制備工藝?yán)暇殻沟靡话闶P(pán)在價(jià)格上具有必定優(yōu)勢(shì)，關(guān)于一些對(duì)本錢(qián)較為靈敏、對(duì)功能要求不是特別嚴(yán)苛的工藝場(chǎng)景，一般石墨盤(pán)是更經(jīng)濟(jì)的挑選。
      杰出的柔韌性和可塑性：可以方便地曲折、切割和模壓，可以適應(yīng)各種復(fù)雜形狀和尺度的設(shè)備需求，易于加工和裝置。
下風(fēng)
      耐高溫性有限：雖然石墨自身具有較高的熔點(diǎn)，但在一些極點(diǎn)高溫環(huán)境下，其功能或許會(huì)遭到影響，出現(xiàn)結(jié)構(gòu)變形、強(qiáng)度下降等問(wèn)題。
      耐腐蝕性較差：在強(qiáng)酸、強(qiáng)堿等腐蝕性介質(zhì)中，石墨盤(pán)簡(jiǎn)單遭到腐蝕，導(dǎo)致運(yùn)用壽數(shù)縮短，需要頻頻替換。
      純度相對(duì)較低：或許含有一些雜質(zhì)，在對(duì)潔凈度要求極高的半導(dǎo)體制作等工藝中，或許會(huì)對(duì)產(chǎn)品質(zhì)量發(fā)生必定影響。
碳化硅石墨盤(pán)
優(yōu)勢(shì)
      優(yōu)異的耐高溫性：可長(zhǎng)時(shí)間耐受1800℃以上高溫（最高達(dá)1900℃），遠(yuǎn)超一般石墨材料的極限溫度，適用于各種高溫工藝。
      高熱導(dǎo)率：熱導(dǎo)率可達(dá)140-300W/m·K（不同工藝差異），明顯優(yōu)于一般石墨（約80-120 W/m·K），可實(shí)現(xiàn)快速均勻的傳熱，削減晶圓熱應(yīng)力。
      低熱膨脹系數(shù)：高溫下幾乎無(wú)變形，保障工藝穩(wěn)定性。
      高硬度與抗彎強(qiáng)度：硬度僅次于金剛石，抗彎強(qiáng)度在常溫下為320-400MPa，1300℃下仍堅(jiān)持360-410MPa，具有較高的機(jī)械強(qiáng)度。
      杰出的耐腐蝕性：耐受FH酸、濃硫酸等強(qiáng)腐蝕性介質(zhì)，防止因化學(xué)腐蝕導(dǎo)致的壽數(shù)衰減。
      高純度：選用高純超細(xì)碳化硅粉末經(jīng)高溫?zé)Y(jié)（2450℃）或化學(xué)氣相沉積（CVD）工藝制成，純度可達(dá)99.9%以上（CVD工藝甚至達(dá)99.999%），防止了金屬雜質(zhì)污染晶圓，尤其適用于對(duì)潔凈度要求極高的工藝。
      運(yùn)用壽數(shù)長(zhǎng)：其運(yùn)用壽數(shù)為一般石墨的四倍以上，長(zhǎng)時(shí)間運(yùn)用本錢(qián)下降50%。
下風(fēng)
      本錢(qián)較高：由于碳化硅材料的制備工藝復(fù)雜，本錢(qián)相對(duì)較高，導(dǎo)致碳化硅石墨盤(pán)的價(jià)格也較高。