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      V型石墨槽舟,v型雙向斜槽石墨舟皿

      V型石墨槽舟的運(yùn)用環(huán)境存在以下綁縛:
      溫度不堅(jiān)決綁縛
            V型槽的幾許特性使其對(duì)溫度改動(dòng)靈敏,在高溫工藝中需嚴(yán)格控制溫度均勻性。例如,在PERC電池片銀漿燒結(jié)工序中,若舟皿表面溫差跨越±2℃,或許導(dǎo)致硅片受熱不均,引發(fā)翹曲變形或內(nèi)部氣孔缺點(diǎn)。此外,在硬質(zhì)合金燒結(jié)的快速升溫/降溫階段,若溫度改動(dòng)速率超出規(guī)劃規(guī)劃(如跨越50℃/min),V型槽或許因熱應(yīng)力會(huì)集而開裂。
      機(jī)械應(yīng)力綁縛
            V型槽的棱角結(jié)構(gòu)在機(jī)械振動(dòng)或沖擊下易受損。例如,在搬運(yùn)過程中若發(fā)生磕碰,槽體棱角或許因應(yīng)力會(huì)集而破裂,導(dǎo)致硅片裝載不穩(wěn)定。此外,在高速旋轉(zhuǎn)鍍膜工藝中(如300rpm旋轉(zhuǎn)鍍膜),若動(dòng)平衡規(guī)劃短少,V型槽或許因離心力效果發(fā)生微變形,影響硅片定位精度。
      腐蝕性氣氛綁縛
            在含氯、氟等活性氣體的環(huán)境中,V型槽的棱角部位更易被腐蝕。例如,在SiC外延成長(zhǎng)爐中,若HCl氣體腐蝕速率跨越0.1mg/cm2·h,V型槽的棱角或許因腐蝕而變鈍,導(dǎo)致硅片裝載時(shí)發(fā)生滑動(dòng)。此外,在酸性或堿性熔煉環(huán)境中,若未涂覆抗氧化涂層(如SiC/Si2N2復(fù)合涂層),V型槽的氧化失重率或許明顯增加,縮短運(yùn)用壽數(shù)。
      裝載適應(yīng)性綁縛
            V型槽的規(guī)劃一般針對(duì)特定規(guī)范或形狀的產(chǎn)品,若產(chǎn)品規(guī)范過失較大或形狀不規(guī)則,或許導(dǎo)致裝載不穩(wěn)定。例如,在超薄硅片(厚度<100μm)的鍍膜工藝中,若V型槽的棱角觸摸面積過大,或許增加硅片破損危險(xiǎn)。此外,在長(zhǎng)條狀硬質(zhì)合金坯體的燒結(jié)中,若V型槽的間隔規(guī)劃不合理,或許導(dǎo)致坯體在燒結(jié)過程中發(fā)生位移。
      清洗與保護(hù)綁縛
             V型槽的深槽結(jié)構(gòu)增加了清洗難度,若清洗液殘留或許導(dǎo)致工藝污染。例如,在濕式清洗(如化學(xué)酸洗)后,若未徹底單調(diào),V型槽內(nèi)或許殘留水分,在高溫工藝中引發(fā)水蒸氣爆沸,導(dǎo)致硅片表面缺點(diǎn)。此外,在干式清洗(如等離子清洗)中,若設(shè)備參數(shù)設(shè)置不妥,或許因等離子體刻蝕效果損害V型槽表面,下降其運(yùn)用壽數(shù)。

      V型石墨槽舟

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