石墨盤(pán)和碳化硅石墨盤(pán)哪個(gè)更好,更適合使用

在半導(dǎo)體制作等高溫工藝場(chǎng)景中，碳化硅石墨盤(pán)在耐高溫性、熱導(dǎo)率、耐腐蝕性、運(yùn)用壽數(shù)等方面更具優(yōu)勢(shì)，更適合運(yùn)用；若對(duì)本錢(qián)活絡(luò)且工藝要求不高，一般石墨盤(pán)是更經(jīng)濟(jì)的選擇。以下為具體分析：
一般石墨盤(pán)
優(yōu)勢(shì)
      本錢(qián)較低：石墨材料相對(duì)常見(jiàn)，制備工藝?yán)系?，使得一般石墨盤(pán)在價(jià)格上具有必定優(yōu)勢(shì)，關(guān)于一些對(duì)本錢(qián)較為活絡(luò)、對(duì)功用要求不是特別苛刻的工藝場(chǎng)景，一般石墨盤(pán)是更經(jīng)濟(jì)的選擇。
      出色的柔韌性和可塑性：可以方便地彎曲、切割和模壓，可以適應(yīng)各種雜亂形狀和尺度的設(shè)備需求，易于加工和設(shè)備。
下風(fēng)
      耐高溫性有限：盡管石墨自身具有較高的熔點(diǎn)，但在一些極點(diǎn)高溫環(huán)境下，其功用或許會(huì)遭到影響，呈現(xiàn)結(jié)構(gòu)變形、強(qiáng)度下降等問(wèn)題。
      耐腐蝕性較差：在強(qiáng)酸、強(qiáng)堿等腐蝕性介質(zhì)中，石墨盤(pán)簡(jiǎn)略遭到腐蝕，導(dǎo)致運(yùn)用壽數(shù)縮短，需求再三替換。
      純度相對(duì)較低：或許含有一些雜質(zhì)，在對(duì)潔凈度要求極高的半導(dǎo)體制作等工藝中，或許會(huì)對(duì)產(chǎn)品質(zhì)量產(chǎn)生必定影響。
碳化硅石墨盤(pán)
優(yōu)勢(shì)
      優(yōu)異的耐高溫性：可長(zhǎng)期耐受1800℃以上高溫（最高達(dá)1900℃），遠(yuǎn)超一般石墨材料的極限溫度，適用于各種高溫工藝。
      高熱導(dǎo)率：熱導(dǎo)率可達(dá)140-300W/m·K（不同工藝差異），顯著優(yōu)于一般石墨（約80-120 W/m·K），可完成快速均勻的傳熱，削減晶圓熱應(yīng)力。
      低熱膨脹系數(shù)：高溫下幾乎無(wú)變形，保證工藝穩(wěn)定性。
      高硬度與抗彎強(qiáng)度：硬度僅次于金剛石，抗彎強(qiáng)度在常溫下為320-400MPa，1300℃下仍堅(jiān)持360-410MPa，具有較高的機(jī)械強(qiáng)度。
      出色的耐腐蝕性：耐受FH酸、濃硫酸等強(qiáng)腐蝕性介質(zhì)，避免因化學(xué)腐蝕導(dǎo)致的壽數(shù)衰減。
      高純度：選用高純超細(xì)碳化硅粉末經(jīng)高溫?zé)Y(jié)（2450℃）或化學(xué)氣相堆積（CVD）工藝制成，純度可達(dá)99.9%以上（CVD工藝乃至達(dá)99.999%），避免了金屬雜質(zhì)污染晶圓，特別適用于對(duì)潔凈度要求極高的工藝。
      運(yùn)用壽數(shù)長(zhǎng)：其運(yùn)用壽數(shù)為一般石墨的四倍以上，長(zhǎng)期運(yùn)用本錢(qián)下降50%。
下風(fēng)
      本錢(qián)較高：因?yàn)樘蓟璨牧系闹苽涔に囯s亂，本錢(qián)相對(duì)較高，導(dǎo)致碳化硅石墨盤(pán)的價(jià)格也較高。