多晶爐石墨熱場的特點是什么
多晶爐石墨熱場的特色主要體現(xiàn)在以下幾個方面:
耐高溫與高溫安穩(wěn)性
石墨熱場選用高純石墨資料,熔點高達(dá)3650℃,可在1600-1800℃甚至更高溫度下長時間安穩(wěn)作業(yè)。其熱膨脹系數(shù)小,在溫度急冷急熱變化時不易發(fā)生裂紋,保證熱場結(jié)構(gòu)的完整性。例如,在多晶硅熔化過程中,石墨熱場能持續(xù)提供安穩(wěn)熱源,支撐定向長晶和熱處理工藝。
優(yōu)異的導(dǎo)熱功能
石墨的導(dǎo)熱系數(shù)遠(yuǎn)高于不銹鋼和碳素鋼,可以快速均勻地傳遞熱量,完結(jié)熱場內(nèi)溫度分布的均勻性。這一特性在多晶硅生產(chǎn)中至關(guān)重要,可保證硅料均勻加熱和快速結(jié)晶,削減晶體缺陷率,進(jìn)步多晶硅的產(chǎn)量和質(zhì)量。
高機(jī)械強(qiáng)度與化學(xué)安穩(wěn)性
石墨資料在高溫下仍能堅持較高的抗壓強(qiáng)度(≥80MPa),且具有超卓的化學(xué)安穩(wěn)性,能耐酸、耐堿、耐有機(jī)溶劑腐蝕。在多晶爐作業(yè)過程中,石墨熱場可反抗熔融硅的化學(xué)腐蝕,避免生成碳化硅雜質(zhì),保證熱場的長時間安穩(wěn)性和可靠性。
模塊化規(guī)劃與可保護(hù)性
多晶爐石墨熱場選用模塊化規(guī)劃,包括加熱器、保溫罩、坩堝托桿等部件,便于裝置、拆開和替換。例如,石墨坩堝選用三瓣式規(guī)劃,可有用避免硅液泄露,且使用壽命長達(dá)30-50爐次,下降保護(hù)本錢。
節(jié)能環(huán)保與高效凈化
石墨熱場通過多層石墨氈或碳纖維復(fù)合資料構(gòu)成隔熱系統(tǒng),熱反射率≥90%,可下降能耗20%-30%。此外,石墨加熱器在加熱過程中能發(fā)生凈化作用,簡化真空系統(tǒng)配置,進(jìn)一步下降設(shè)備全體本錢。
適配大規(guī)范與高純度需求
跟著光伏作業(yè)向大規(guī)范化展開,石墨熱場支撐36英寸以上大直徑硅棒生產(chǎn),單爐投料量打破3000kg。一起,選用高純石墨資料(灰分<100ppm),可滿足N型電池等高效光伏產(chǎn)品對資料純度的嚴(yán)苛要求。